PICO系列等离子清洗机

更新时间：2025-06-02

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简要描述：

PICO系列等离子清洗机Pico 等离子设备能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Pico 等离子系统一同使用的较常见的选装件。

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产品介绍

PICO系列等离子清洗机

Pico 等离子设备能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Pico 等离子系统一同使用的常见的选装件。

Pico 等离子系统主要应用于以下领域：

小批量生产

分析 (REM, TEM)

医疗技术

灭菌

研究和开发部门

考古

纺织技术

塑料技术

PICO系列等离子清洗机规格参数：

系列	Pico系列
控制系统	半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
体积	4~15L
真空腔室	圆形不锈钢件，配有盖子（大约Φ 150 mm, 长 320 mm 或者长 600 mm）或者矩形不锈钢件，配有铰链的门（约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm）配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约Φ 130 mm, 长 300 mm 或者长 600 mm）
电极	单层或多层 RIE
样品支架	（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
气源	针型阀质量流量控制器 (MFCs)
压力计	Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器	数字型
高频电流发生器	40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
真空泵	KASHIYAMA
电源	台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位