PM100日本雅马拓等离子清洗机
低频输出 100W,反应腔 Φ100×200mm
经济型、通过等离子化气体的活性作用对处理对象表面进行改质、清洗。
PM100日本雅马拓等离子清洗机特点
●经济型等离子清洗机。
●简单的等离子处理操作
●无需高频使用申请
值得期待的应用案例
<清洗>
●有机膜的去除（油，蜡等有机膜）。
●电子零件，光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。
●细菌的消毒等（通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒）。
<表面改质>
●高分子材料表面的官能基付与→ 粘合性，密着性提高。通过氧化反应，在表面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）；
●电子零件，光学零件和微小部件的清洗、电镀、涂层前处理。
●细菌的消毒等（通过氧自由基进行细胞膜的蚀刻或通过紫外线进行消毒）。同样，氮气等离子时，表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
●提高各种聚合物的粘结性以及提高医科齿科材料的生物相容性等。
●通过处理培养皿可以在其上均匀涂抹培养基等。
<蚀刻>
●有机高分子材料的蚀刻。对于有机高分子氧气成为蚀刻气体，可以进行抗蚀剂的蚀刻。
●促进种子发芽等实验。
PM100规格
| 型号 | PM100 |
| 等离子发生源 | 低频高电压电源，输出约100W，周波数60KHz、输出电压10kV |
| 电机构造 | 电容型 2分割 |
| 气体流量计 | 氧气用、流量30～300mL/min |
| 真空调整阀门 | 抽真空用，回大气用 |
| 反应腔尺寸 | 内径100mm×深度大约200mm |
| 外形尺寸（宽×深×高mm） | 310×300×448 |
| 电源 50/60Hz | AC100V 10A（含真空泵Max7A） |
| 真空泵接口 | 外径Φ6.35mm（推荐真空泵排气速度30L/min） |
| 气体接口 | 外径Φ6.35mm |
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